先进封装产能与设备验证正成为AI算力供给的下一道瓶颈;中国大陆存储与制程在DUV约束下持续以多重图形化与先进封装追赶,两条路径的收敛窗口正在收窄。
台积电在高雄八德园区启动模块化Mini-Loop验证线,将新设备与工艺先在独立小线验证后再导入CoWoS量产,目标将验证效率提升25%至50%。台积电先进封装副总裁何俊估计CoWoS产能到2027年前复合年增速将超80%。同时公司正评估以方形玻璃面板替代圆形晶圆基板,推进CoPoS量产,并多次造访友达中科园区。AI芯片持续增大的封装尺寸,正在把瓶颈从前端制程推向后端设备验证与载板环节。
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长鑫存储宣布第五代DRAM平台G5进入量产,并同步推出两颗24Gb LPDDR5X产品,单颗容量较上代提升50%。其核心是自对准四重图形化(SAQP)工艺,将存储阵列有效区半节距压缩至11.95nm,晶圆die产出率较上代平台提升至少50%。该工艺采用高k金属栅极与45:1阵列电容深宽比,在单曝光DUV逼近微缩极限的背景下,以多次图形化换取更细结构,是国产DRAM在EUV受限条件下延续制程微缩的关键路径。
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Cadence宣布其数字全流程、签核与定制/模拟流程通过台积电A14与A16认证,N2P同步完成认证,并与台积电在N3、N2、A16、A14上推进Agentic AI芯片与3D-IC设计流程。UCIe-64G已在A14完成流片,DDR5、LPDDR5、PCIe 6.0 IP在N2P流片,UALink方案在N3P完成验证。工具认证是制程微缩落地前的关键前置环节,A14预计2028年量产,此次认证为2028年后的AI/HPC芯片设计提供了可承诺的工具基础。
中科院微电子所(IMECAS)宣布完成基于浸没式DUV的堆叠纳米片沟道GAA CMOS晶体管早期工艺集成,器件开/关电流比达9.7×10⁵与7.6×10⁵,超过5×10⁵门槛。更强栅控意味着晶体管在间距略大时仍可达到接近更密集FinFET的性能,从而在DUV分辨率受限下降低微缩对多重曝光的依赖。团队负责人叶天淳将其定位为"国产3nm以下先进制程的早期MOS工艺路径"。当前仍处实验室阶段,尚未展示完整可量产工艺。
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